激光干涉儀原理應(yīng)用

  以光波為載體的激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍廣、分辨率高的特點(diǎn)。它的光波波長(zhǎng)可以直接定米，可以追溯到標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、印刷電路板鉆機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)、科研開(kāi)發(fā)和高端設(shè)備制造。

測(cè)量原理。

 激光干涉系統(tǒng)發(fā)射j激光光束。射入線性干涉鏡后，分為兩束射入反射鏡，然后反射回分光鏡，Z回到激光干涉。當(dāng)光差不變時(shí)，激光干涉儀可以在相長(zhǎng)干涉和相互干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。當(dāng)光差發(fā)生變化時(shí)，計(jì)算這些變化，測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異。

 在陽(yáng)極和陰極之間的高壓連接下，產(chǎn)生一種混合氣體，產(chǎn)生激光束，通過(guò)放大激光的強(qiáng)度將一些光傳輸?shù)捷敵黾す?。在這些參數(shù)中，激光穩(wěn)定頻率的精度由加熱器控制，激光管的長(zhǎng)度保持在0.05ppm。此時(shí)，輸出穩(wěn)定后，激光可以干預(yù)測(cè)量。目前，大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀使用氦激光管，這些激光管的輸出波長(zhǎng)為633納米。

 激光的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量和壽命等參數(shù)與性能有直接關(guān)系。其中，激光頻率是激光干涉z的基本參數(shù)，其頻率(波長(zhǎng))的精度和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保證。

開(kāi)發(fā)激光干預(yù)技術(shù)。

 自1960年以來(lái)，梅曼成功開(kāi)發(fā)了紅寶石激光，開(kāi)始了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時(shí)代。此后，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于長(zhǎng)度、角度、微觀形態(tài)、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域，結(jié)合微電子和計(jì)算機(jī)技術(shù)，形成了現(xiàn)代干涉儀。

 由于激光具有優(yōu)異的時(shí)間相關(guān)性，自出現(xiàn)以來(lái)，發(fā)展了多種激光干預(yù)技術(shù):單頻激光干預(yù)、雙頻激光。

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