鐳測科技公司經(jīng)過7年的研發(fā)，在國內(nèi)研究成功可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器，并實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。這一成果終結(jié)了我國50年靠玻璃吹制氦氖激光器的歷史，有力推動(dòng)我國高端激光儀器的發(fā)展。

 　　清華大學(xué)教授、鐳測科技公司顧問張書練表示，氦氖激光器是氣體激光器的一種，是氣體激光器中最先研發(fā)問世的產(chǎn)品類型。氦氖激光器是以中性原子氣體氦和氖為工作物質(zhì)、由放電管和光學(xué)諧振腔構(gòu)成的激光器，可輸出連續(xù)激光。氦氖激光器工作在可見光與紅外光頻段，可輸出綠光543.5nm、紅光632.8nm、紅外光1.15μm和3.39μm等多種波長。其中，紅色波長632.8nm在氦氖激光器家族中有獨(dú)一無二的品質(zhì)，應(yīng)用最廣泛。波長632.8nm氦氖激光束質(zhì)量高、光束橫截面上光強(qiáng)度非常接近完美的高斯分布，非常小的發(fā)散角，傳播百米后光斑直徑還保有幾毫米大??；輸出功率穩(wěn)定，噪聲非常低；有天然的頻率（波長）穩(wěn)定點(diǎn)，波長穩(wěn)定性可以非常高，可以做到1小時(shí)時(shí)間內(nèi)632.8nm僅漂移百萬甚至億分之一；造價(jià)低，可靠性高，一致性好互換性強(qiáng)等。

 　　張書練指出，氦氖激光器在儀器儀表、精密測量方面應(yīng)用廣泛，很難替代。國內(nèi)外的單頻干涉儀，雙頻干涉儀，面型干涉儀，測振儀，橢偏儀，激光陀螺儀等都采用氦氖激光器做光源，這些儀器是精密機(jī)床、光刻機(jī)、航空、航天、機(jī)械和光學(xué)加工，薄膜技術(shù)等領(lǐng)域精度的保證。我國這些產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展的速度加快，市場對相關(guān)儀器的需求將持續(xù)增長，將會(huì)拉動(dòng)我國對可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器需求規(guī)模不斷擴(kuò)大。

 　　根據(jù)某研究中心發(fā)布的《2022-2026年氦氖激光器行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，2021年，全球氦氖激光器市場規(guī)模約為0.74億元；預(yù)計(jì)2021-2026年，全球氦氖激光器市場將以4.2%左右的年均復(fù)合增速增長，到2026年市場規(guī)模將達(dá)到0.91億元左右。在全球市場中，氦氖激光器生產(chǎn)商主要有美國Lumentum Operations、美國Melles Griot（被Pacific Lasertec收購）、美國Thorlabs、美國Excelitas Technologies、德國Lasos、德國Phywe、日本Neoark。

 　　張書練表示，多年來，我國依賴玻璃吹制技術(shù)生產(chǎn)氦氖激光器（管），激光器之間一致性較差，穩(wěn)定性不佳，不能達(dá)到各類激光儀器的應(yīng)用要求。過去幾十年，雖然國內(nèi)也有對可伐-玻璃組裝式（無吹制）氦氖激光器進(jìn)行了研究，但沒有堅(jiān)持下來，也曾引進(jìn)了一條國外（裝配）生產(chǎn)線，運(yùn)行幾年，終因沒有自己元器件供應(yīng)鏈，沒有自己的工藝被迫停產(chǎn)。激光儀器儀表儀器裝配的氦氖激光器都從國外購買，因?yàn)槿菀最l率突跳或不出雙頻振蕩，淘汰率很高。

 　　鐳測科技自主研發(fā)的可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器用已成批用于雙頻激光干涉儀上和光刻機(jī)的失效激光器替換。用作雙頻激光器時(shí)，激光功率可以達(dá)到1.3mW以上，激光頻率差可選定3MHz、7MHz、10 MHz、20 MHz，或更大，這是國內(nèi)外以前很少實(shí)現(xiàn)的。此外，之前，不論是單頻還是雙頻激光干涉儀，國產(chǎn)還是國外購買，各型號都有幾納米甚至十幾納米的非線性誤差，可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器作光源的雙頻激光干涉儀非線性誤差不大于1納米。開國內(nèi)可伐-玻璃組裝式氦氖激光器之先，吹制工藝或成歷史；解大頻差和高功率不可得兼之難，對我國激光技術(shù)及精密測量領(lǐng)域的應(yīng)用創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)變革具有重大意義。

[來源：中國青年網(wǎng)、人民網(wǎng)]

http://scitech.people.com.cn.sevu.nl/n1/c41163-316667.html

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雙頻激光器，雙頻激光干涉儀，單頻激光器，單頻激光干涉儀