激光干涉儀用于平面度測(cè)量
發(fā)布時(shí)間:2019-02-19瀏覽次數(shù):2353
1、平面度
平面測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上做的延伸,利用角度測(cè)量的附件記錄下一系列平面位置角度,轉(zhuǎn)化為高度的變化,按照對(duì)角線的方法測(cè)量出平臺(tái)上不同位置的高度變化值,就可以得到整個(gè)平臺(tái)的平面度。
2、平面度測(cè)量用組件
平面度測(cè)量用到的激光干涉儀組件:
激光干涉儀測(cè)頭、角度測(cè)量光學(xué)鏡組、平面度測(cè)量組件、Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
3、平面度測(cè)量應(yīng)用
測(cè)量坐標(biāo)測(cè)量機(jī)臺(tái)面以及各種平板的表面形狀。
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