LH2000雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品描述：

專(zhuān)為計(jì)量檢測(cè)用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀
性能卓越的高精度線性位移、長(zhǎng)度檢測(cè)標(biāo)定工具

服務(wù)熱線:4008168900

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滿足計(jì)量檢測(cè)用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；

以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，

在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí)，

將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里，

一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；

典型頻差7±0.5 MHz，測(cè)速高達(dá)2m/s。

系統(tǒng)組成：
     LH2000激光測(cè)頭及附件
     環(huán)境補(bǔ)償單元
     LaserLC測(cè)量軟件
     線性位移測(cè)量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測(cè)量鏡組等）
     光學(xué)調(diào)整附件
     三腳架及其他測(cè)量附件

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點(diǎn)和差異，請(qǐng)閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

激光頭尺寸	330mm×110mm×95mm
激光頭重量	3.3kg
激光光束直徑	6mm
激光功率	>0.5mw
真空波長(zhǎng)	632.99nm
頻差	可定制典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍	+10℃~+30℃
儲(chǔ)存溫度范圍	+15℃~+45℃
激光穩(wěn)頻精度	±0.02ppm
線性測(cè)量范圍	40m
線性測(cè)量精度	±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補(bǔ)償器)
分辨率	1nm
測(cè)量速度	2m/s
工作電源	220V/50Hz