激光干涉儀以光波為載體，以激光為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，精度高，高靈敏度測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀不僅廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床等高端設(shè)備，激光切割機(jī)，光刻機(jī)等，在計(jì)量檢定領(lǐng)域也可以展示自己的技能，今天小編就為大家介紹一些常見的案例。

1.測(cè)長(zhǎng)機(jī)檢定

傳統(tǒng)的長(zhǎng)長(zhǎng)機(jī)示值誤差主要由量塊校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，校準(zhǔn)條件要求較高，測(cè)量范圍大于1m長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)需要分段校準(zhǔn)，效率低。激光干涉儀的校準(zhǔn)不僅可以提高效率，還可以通過環(huán)境補(bǔ)償單溫度進(jìn)行校準(zhǔn)，壓力，補(bǔ)償濕度和材料溫度，提高校準(zhǔn)精度。

2.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

隨著三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展，采用了傳統(tǒng)的量塊技術(shù)，球板不能滿足大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)要求。測(cè)量精度高，測(cè)量范圍大，測(cè)量數(shù)據(jù)豐富，適用于測(cè)量三坐標(biāo)的幾何誤差。

3.檢定位移傳感器

激光干涉儀檢定位移傳感器已成為測(cè)量精度高的發(fā)展趨勢(shì)，反應(yīng)速度快，易于數(shù)字測(cè)量。在測(cè)量過程中，設(shè)計(jì)了一個(gè)精確的導(dǎo)軌，同步檢測(cè)反射鏡和測(cè)量傳感器，形成位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)的對(duì)比激光干涉儀(標(biāo)準(zhǔn))對(duì)定長(zhǎng)位移進(jìn)行往復(fù)試驗(yàn)。

4.圖像儀定位精度測(cè)量

傳統(tǒng)的圖像儀檢測(cè)方法采用線紋尺比對(duì)法，檢測(cè)精度低，測(cè)量系統(tǒng)誤差大，缺乏原因分析功能，改進(jìn)方向不準(zhǔn)確，檢測(cè)效率低。激光干涉儀的使用可以快速檢測(cè)圖像儀的定位誤差，計(jì)算分析測(cè)量數(shù)據(jù)，利用軟件生產(chǎn)補(bǔ)償文件快速實(shí)現(xiàn)二維平面多點(diǎn)補(bǔ)償，大大降低了設(shè)備制造過程中精度檢測(cè)的難度，提高檢測(cè)效率和補(bǔ)償效率。