一、產(chǎn)品介紹

激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一。它使用邁克爾森干涉系統(tǒng)的一般長(zhǎng)度來(lái)測(cè)量已知長(zhǎng)度的激光波長(zhǎng)。除測(cè)量長(zhǎng)度外，激光干涉儀還可用于測(cè)量線性位置、速度、角度、線性位置、速度、角度、平行度、平行度和垂直度，可用于精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正。

二、工作原理。

角錐反射鏡緊密固定在分光鏡上，形成固定長(zhǎng)度的參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對(duì)于分光鏡移動(dòng)，形成變化長(zhǎng)度測(cè)量光束。

激光頭發(fā)射的激光束(1)頻率單一，稱為0.63μm，長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí)，分為兩束光-反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在激光頭嵌入的探測(cè)器中形成干涉光束。

如果不改變兩個(gè)光程之間的差值，探測(cè)器將在相長(zhǎng)干涉和相消除干涉之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號(hào)。如果兩個(gè)光程之間的差值發(fā)生變化，探測(cè)器可以觀察到相長(zhǎng)干涉和相消除干涉之間的信號(hào)變化。這些變化（條紋）用于計(jì)算兩個(gè)光程之間的變化。測(cè)量長(zhǎng)度等于條紋數(shù)乘以激光波長(zhǎng)的一半。

需要注意的是，激光波長(zhǎng)取決于光束通過(guò)的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著溫度、壓力和相對(duì)濕度的變化而變化，因此這些環(huán)境參數(shù)的變化可能需要通過(guò)計(jì)算測(cè)量值的波長(zhǎng)來(lái)補(bǔ)償。在實(shí)踐中，只有線性位移（定位精度）測(cè)量需要補(bǔ)償技術(shù)指標(biāo)中的測(cè)量精度。在這種情況下，兩束光的光程差可能會(huì)發(fā)生很大的變化。

波長(zhǎng)補(bǔ)償

線性定位測(cè)量精度取決于已知的激光波長(zhǎng)精度。這不僅與激光器的穩(wěn)定頻率精度有關(guān)，還與周圍的環(huán)境參數(shù)有關(guān)。特別是溫度、氣壓和相對(duì)濕度會(huì)影響激光束（在空氣中）的波長(zhǎng)。

無(wú)需補(bǔ)償波長(zhǎng)變化，激光線性測(cè)量誤差可達(dá)50ppm。即使在溫度受控的房間里，每天都有空氣。

壓力的變化也會(huì)使波長(zhǎng)變化超過(guò)20ppm。作為參考，以下環(huán)境條件的變化會(huì)導(dǎo)致大約1ppm的誤差：

空氣溫度1C(1.8°F)。

空氣壓力3.mbar(0.098inHG)。

50%相對(duì)濕度(20°C)。

30%相對(duì)濕度(40°C)。

注意：這些值在壞條件下具有影響值，且不完全受其他參數(shù)值的影響。這些誤差可以通過(guò)埃德倫公式來(lái)減少。