介紹激光干涉儀。

激光干涉儀以光波為載體，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度分辨率高的特點(diǎn)。其光波波長(zhǎng)可直接定義為米，并可追溯到標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)、科研開發(fā)、高端設(shè)備制造等領(lǐng)域。

使用激光干涉儀。

激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數(shù)的高精度測(cè)量。

在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下，激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量和性能檢測(cè)，以及位移、速度、加速度、振幅和頻率的動(dòng)態(tài)分析。

激光干涉儀的工作原理。

激光干涉儀發(fā)射單頻光束，將光束射入線性干涉鏡，分為兩個(gè)光束射向鏡，然后反射回分鏡，重聚回激光干涉儀。如果光程差不變，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。如果光程差發(fā)生變化，則計(jì)算并用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異。

當(dāng)高壓連接到陽極和陰極之間時(shí)，通過放大激光強(qiáng)度，刺激混合氣體形成激光束，將一些光傳輸?shù)捷敵黾す馐?。其中，為了?shí)現(xiàn)平衡，激光管的長(zhǎng)度由加熱器控制，激光頻率的穩(wěn)定精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，激光器可以在穩(wěn)定輸出后進(jìn)行干擾測(cè)量。目前，大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉器使用氦霓虹激光管，波長(zhǎng)633納米。

激光干涉儀的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量和壽命都與激光干涉儀的性能有關(guān)。激光頻率是激光干涉儀基本的參數(shù)，其頻率（波長(zhǎng)）的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保證。