維護：

1.儀器放置在干燥干凈的室內(nèi)，防止振動。移動時，儀器應固定底座，防止導軌變形。

2.不使用光學零件時，應存放在干凈干燥的盆中，以防發(fā)霉。反射鏡和分光鏡一般不允許擦洗。需要擦拭時，先用備件刷仔細擦去灰塵，然后用脫脂棉球滴酒精和乙醚混合物輕輕擦拭。

3.傳動部件應潤滑良好。特別是導軌、螺桿、螺母和軸孔部分，用T5精密儀表油潤滑。

4.在使用過程中，各調(diào)節(jié)部位應用力適中，不得有強旋、硬拉。

5.導軌上的絲杠應防止劃傷和生銹。使用后，得失油。

6.儀器零件經(jīng)精密調(diào)整后，應涂紅漆，不得隨意轉(zhuǎn)動。

注意事項：

1.進口激光干涉儀應在干燥、干凈、無振動的環(huán)境中使用。

2.操作儀器時，為了防止導軌變形，應在移動前固定底座。

3.儀器光學元件不使用時，應將儀器放入干凈干燥的容器中，以防發(fā)霉。

4。反射鏡、儀器的分光鏡等不能去擦，如果一定要擦，要用科學的方法清洗。

5.良好地潤滑導軌、螺桿、螺母和軸孔等傳動部件。所以如有必要，可用精密儀表油潤滑。

6.應用中應避免強旋轉(zhuǎn)和硬拉伸，合理適當?shù)卣{(diào)整零件。

7.防止導軌桿刮傷或腐蝕，保持絲桿不會失油。

基本特征。

1.直線和直線誤差(雙軸)、偏角、俯仰角和滾動角。

2.在機床主軸上安裝5D/6D傳感器。

3.可選無線遙控器的較長控制距離為25米。

4.可以測量速度、加速度、振動等參數(shù)，評價機床的動態(tài)特性。

5.整個系統(tǒng)只有15公斤重，結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，不需要三角架測量。

6.集成干涉鏡和激光相結(jié)合，簡化了調(diào)節(jié)步驟，減少了調(diào)節(jié)時間。

7.進口激光干涉儀可同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角、滾動角等，也可測量機床的動態(tài)特性等。

8.進口激光干涉儀的光源激光具有強度高、方向性高、空間相同、頻帶和單色高的優(yōu)點。