激光干涉儀知識(shí)點(diǎn)科普

 激光干涉儀具有測量速度快、精度高等優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等各種定位設(shè)備精度和線性指標(biāo)的通用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，掌握激光干涉儀的使用技術(shù)，使測量工作成倍增加。

利用激光干涉技術(shù)。

Z軸激光的快速瞄準(zhǔn)方法。

與x、y軸準(zhǔn)直相比較，用z軸測量激光光路的準(zhǔn)直法更難實(shí)現(xiàn)。尤其是在z軸距較長的情況下，為保證激光束在反射鏡反射后返回激先探測器的強(qiáng)度滿足測量對光強(qiáng)的要求，準(zhǔn)直激光光路一般需要較長的時(shí)間。

軸光束快速瞄準(zhǔn)法是一種特殊的標(biāo)定方法：Z軸位于低端，利用激光器殼體中部瞄準(zhǔn)槽，將分光鏡置于Z軸上，左右移動(dòng)Z軸，觀察Z軸，保證激光轉(zhuǎn)向后與Z軸平行，左右移動(dòng)(可蓋在Z軸上)，確保激光打在反射鏡上。

選擇輔助工具。

盡管激光干涉儀的安裝部件比較齊全，但是在實(shí)際使用過程中還需要額外配置一些輔助工具。

①低矮云臺(tái)的研制。

有些機(jī)床工作臺(tái)高度與地面平行，在測量Z軸時(shí)，若原三角架和激光地面上的三角架因自身高度而丟失測量范圍。

②選擇磁基；

 磁干涉儀是激光干涉儀常用的輔助工具，選用時(shí)要注意，表座工作面必須有螺孔與安裝鏡組配合，將主磁吸面位于底部和側(cè)面的磁吸面分別選用兩種類型(實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用主磁吸面位于底面的表座)，在測量時(shí)，往往側(cè)吸的表座更有利于激光干涉儀的安裝。

鏡組使用靈活。

 它包括線性測量鏡、測角鏡、平面度測量儀、直線度測量儀、垂直度測量儀、激光準(zhǔn)直儀等。實(shí)踐中，可結(jié)合部分功能不同的鏡組以滿足測量要求。例如角度測量鏡組中的反射鏡，也可以替代線性測量鏡組中的反射鏡；用激光準(zhǔn)直鏡可縮短調(diào)整時(shí)間。

此外，各種測量鏡組也可使用各種測量鏡組，一般使用分光鏡或光學(xué)直角器來改變光路，方便測量。這樣就需要了解設(shè)備的性能，掌握測量技巧，在保證測量精度的前提下活學(xué)活用。

配備專用計(jì)算機(jī)是必要的。

激光干涉儀通常與筆記本電腦配合使用，但是如果不注意特殊問題，軟件沖突和計(jì)算機(jī)病毒就會(huì)影響測量和使用。

什么因素決定了激光干涉測量的精度？

實(shí)際上，激光干涉儀需要確定每一種測量應(yīng)用能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平，以保證測量數(shù)據(jù)的精確度和可靠性。因?yàn)榧す飧缮嫦到y(tǒng)的測量讀數(shù)Z終值與激光波長有關(guān)，其頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉測量精度的保證。另外，環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的準(zhǔn)確度直接影響激光干涉儀Z端子的測量精度。

總之，影響激光干涉儀測量精度的因素有：①激光頻率(波長)和頻率穩(wěn)定度；②軟件系統(tǒng)所產(chǎn)生的誤差；③反射鏡和圓錐棱角誤差；④溫濕度和壓力傳感器誤差；當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中，測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

用于激光干涉測量。

激光干涉儀必須有人看管，加技術(shù)員專人送檢，他人不得隨意使用，以免降低精度。

在環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹的激光干涉儀存放。器具必須保持干燥。所有的儀器都不能壓，凍，濕，熱，熱。儀表盒不要靠近火爐或加熱管。

在使用激光干涉儀時(shí)，應(yīng)小心輕放，以免產(chǎn)生較強(qiáng)的沖擊振動(dòng)。腳架放置前，請檢查是否牢固。工作人員在整個(gè)操作過程中不得離開儀器，以免發(fā)生意外。

在強(qiáng)風(fēng)、濕氣和溫度變化較大的環(huán)境中，應(yīng)避免進(jìn)行激光干涉測量，這將嚴(yán)重影響測試結(jié)果。