對(duì)于激光干涉儀，您有什么不同的看法嗎？

  激光干涉儀測(cè)量速度快、精度高，是校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等各種定位設(shè)備精度和線性指標(biāo)的通用標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧，將使測(cè)量工作事半功倍。

運(yùn)作方式：

 一種激光干涉系統(tǒng)發(fā)射單頻光束，在一面干涉鏡射入后，被分成兩束射入反射鏡，再反射回分光鏡，Z回到激光干涉。相消性干涉與相消性干涉可以在不同光程差的情況下穩(wěn)定地進(jìn)行測(cè)量。用來測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程差值之間的差值而產(chǎn)生的變數(shù)。

一種由混合氣體產(chǎn)生的激光光束，在陽(yáng)極和陰極的一個(gè)高壓連接下產(chǎn)生，通過激光強(qiáng)度放大，將光傳輸?shù)捷敵黾す馍?。通過控制加熱管長(zhǎng)度，激光穩(wěn)頻精度保持±0.05ppm，此時(shí)輸出穩(wěn)定，激光干涉測(cè)量即可實(shí)現(xiàn)。目前，大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用波長(zhǎng)為633納米的氦氖激光器。

 激光頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量、壽命等參數(shù)與激光干涉儀的最終性能密切相關(guān)。光譜是激光干涉儀的基本參數(shù)之一，其頻率(波長(zhǎng))的精確度和穩(wěn)定性是其測(cè)量精度的保證。

適用：

1、位置精度檢測(cè)和自動(dòng)補(bǔ)償可實(shí)現(xiàn)數(shù)控機(jī)床的定位、重復(fù)定位、位移等精度檢測(cè)。

2、激光干涉儀能夠同時(shí)測(cè)量龍門大型移動(dòng)數(shù)控機(jī)床，利用雙伺服驅(qū)動(dòng)某軸向運(yùn)動(dòng)定位精度，。

3、數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能測(cè)試軟件、機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析(FFT)、滾珠絲杠動(dòng)態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)響應(yīng)特性分析、導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)特性分析等。

4、適用于直線性、垂直性、縱斜、平行性、平行性和平行性。